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化学または電気技​​術者は、集積回路ウェハの表面の化学的および物理的特性を変更したい場合にはプラズマエッチングポリマー

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を削除する方法は、プラズマ処理として知られている。この処理の一形態は、特定のガスからグロー放電(プラズマとも呼ばれる)を用いたプラズマエッチングと呼ばれる。放電はサンプル回路上に直接高速でストリーム内のパルスとして放出される。帯電し、イオン又は原子および基から構成される中性のように分類され、 - エッチング種として知られているプラ​​ズマ源は、2つの特性のいずれかを取ることができる。エッチング処理が始まると、回路上にストリーミングされて放電がエッチングされた材料およびプラズマによって作成されたエッチング種との間の化学反応の結果として揮発性エッチング残渣を作成します。プラズマ流から原子に付着または表面を貫通するように回路の物理的および化学的特性が最終的に変更される。プラズマ流のために使用されるガスに応じて、プラズマエッチングポリマーは、処理後の残渣として形成することができる。物事はあなたが検索統合ウエハ回路が必要になります検索プラズマエッチングポリマーリムーバー(PRX-127)検索ヘビーデューティ保護手袋検索外科マスク報酬 - 保護メガネまたはゴーグル検索ストリップタンク
脱イオン(DI)水タンク検索スピンドライヤーすすぎまたはスピンリンスドライヤーZazzle.co.jpから複数の命令
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プラズマエッチングポリマーはそうとプラズマエッチング処理を使用した後に形成される表示カーボンhydrotrifluorideとオクタフルオロプロパンなどのフッ素系ガス。これらのガスは、その後、集積回路ウェーハに転送され、血漿中の不飽和化合物を作成する。これらは継続し、さらにプラズマ処理のための順序で削除する必要があります。検索検索2は有害化学物質の周りには、細心の注意を払ってください。 PRX-127として知ら

プラズマエッチングポリマーリムーバーは、エーテル、スルホキシド及び水酸化物の要素から構成される化合物であり、またはタッチで呼吸することは極めて危険です。それは、この製品を使用する前に、手袋、眼鏡、マスクを着用することをお勧めします。ウェットベンチ浸漬法、この化合物を処理するための安全な方法の一つであり、非常に少ない物理的相互作用を必要とする。買取3

このPRX-127溶液を用いてウェットベンチプロセスのために特別に設計された2つのストリッピングタンクを記入し、摂氏70〜90度の温度にもたらす。保護手袋を使用してタンクの一つに丁寧に影響を受けた回路ウェーハを置きます。ウェハは、少なくとも5分、最適な効果のためよりも、もはや20分間溶液中で滞在する必要があります。機械的またはソニックベース攪拌法は最初にお風呂の間にお勧めします。検索のiPhone 4

この風呂サイクルが完了すると、最初のストリッピングタンクから第二にウェーハを移し、追加の撹拌せずに5〜20分間再びウェーハを浸します。この第二のお風呂は、ウェーハの表面上の残留物の下に、ポリマーの既存のレイヤーを削除します。検索検索5脱イオン水は他のミネラルと、完全に純粋な水である。

このPRX-127溶液からウェハを取り出し、SVC-300は、塗料除去のために主に使用されてリンス液で満たされた第3タンクに移す。それは無毒で不燃性であり、ウエハを損傷することはありませんとして使用するのは非常に安全です。ウェハは2〜3分で、この溶液にとどまるべきである。六から八サイクルのすすぎタンク内とし、ソリューションのすべてのトレースを削除するには、スピンドライヤーやスピンリンスドライヤーを使用 - 脱イオン水 - 最終的な解決にウェーハを移す。ウェハは、ポリマーの完全に自由で、さらにプラズマエッチング処理のために再び使用されるようになりました安全であるべきである。
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